方法的优缺点比较 各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接PECVD法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。 使用不同频率的PECVD系统，也各有一定的优缺点： （1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。 （2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。 （3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。 为什么管内结焦会使管壁温度上升，并使炉管损坏：管内壁结上一层焦炭以后，增加了一层焦垢热阻，使管壁温度升高。其后，气相和液相介质将继续渗透到焦层的空隙中去，继续结焦，逐渐形成越来越厚的坚实的焦层，使管内温度急剧上升。当温度升高到允许值以上，加剧了炉管的腐蚀和高温氧化，使管壁厚度减薄，引起炉管鼓包、破裂。同时使管内压力降升高，炉子操作性能恶化甚至造成装置停产。 管式炉结构 烟囱和烟道： 其作用是将炉膛的烟气排入大气中，内部均用耐火和保温材料衬里。为调节烟气排除速度，还装有可活动挡板。烟气流动为上抽式的加热炉烟囱安装在对流室上部；烟气流动为下行式的加热炉，烟囱安装在炉侧，并设有烟道。 吹灰器： 其主要作用是防止积灰，尽量保持炉管表面始终干净，用以强化对流管的对流传热，提高炉的热效率。炼厂应用的吹灰器有自动伸缩式和固定旋转式两种。