TMAH是四甲基氢氧化铵简写。近年来， TMAH大量地使用在半导体与光电等电子高科技产业中，其主要用途是在黄光制程中当作显影剂(Developer)使用，而以往其危害认知上，仅当成强碱性与腐蚀性化学物质处置，故其物质安全资料表各厂商可谓莫衷一是。
MPR E-Scan是根据临界角测量原理设计的一种新型连续在线监测仪，由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触，且没有极化效应，故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中，连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度，拥有一般浓度仪表无可比拟的优点。
