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六氟化硫的化学性质非常稳定，在空气中不燃烧，不支撑燃烧，不与水、强碱、氨、盐酸、硫酸等反应。SF6具有良好的热稳定性，在常温或高温状态下不会发生，SF6的热分解温度约为500°c，但由于特定金属的存在，SF6的稳定性大大降低，其热分解温度从°150结果超过200·气温达到150℃，六氟化硫开始慢慢变成氟化硅板硫化，六氟化硫在铝或铜存在的情况下约200℃开始分解。250岁时，他开始与金属钠反应，生成氟化钠。但是，在223°c时，将各种金属放入六氟化硫气体中进行270次测试的结果表明，腐蚀程度仍然可以忽略不计。
