基于强大的 COMPex 准分子激光器的系统是用于具有线光束或方形光束场形状的高质量 UV 微加工的灵活工具。
光学设计、坚固的机械结构和具有脉冲间稳定性的准分子激光器可提供非常准确的结果。应用包括激光剥离 (LLO) 分离、掺杂剂离子激活、烧蚀图案化和薄膜退火。
COHERENT准分子激光器VarioLas Eco COHERENT VarioLas Eco VarioLas Pro VarioLas Sweep 性能特点
高分辨率光学和机械结构确保可重复的结果
模块化设计 提供灵活使用的定制选项
方光束和线光束场以获得更优的结果
支持所有 COMPex 激光器型号以实现的加工
COHERENT准分子激光器VarioLas Eco COHERENT VarioLas Eco VarioLas Pro VarioLas Sweep 技术参数
COHERENT准分子激光器VarioLas Eco COHERENT VarioLas Eco VarioLas Pro VarioLas Sweep
产品应用
激光剥离分离
掺杂离子激活
烧蚀图案
准分子激光退火
VarioLas Eco VarioLas Pro VarioLas Sweep
