净化厂房是复杂的系统工程，应用的功能要求有差别。监理工程师对施工图的审查，目的是熟悉图纸，了解设计意图，未设计交底、组织施工图会审、审查施工组织设计做准备。首先要搞明白项目设计要求的用途和功能，对设计总说明要深刻领会，分系统审查各空调机组控制的区域，风管系统及各种管线布局并做好记录，必要时进行复合计算，根据经验判断和提出审查意见。一般易出现的情况如下：
1、工艺设备与进回风口位置矛盾，设备阻挡进回风口，影响风流，会影响温度变化梯度。
2、工艺设备本体散热、废油气排放，此项与设备选型订货有关、若考虑不周，后续改造较困难。
3、空调水系统过滤位置，主机供货商一般要求进出水口另设过滤保护主机。
4、室内地下管线材质、埋设方式与地质情况室符合的，宜设通行或半通行地沟。
5、恒温、恒湿间风流设计，不宜采取风口送回风，会有温湿度不均匀现象。
6、净化等级不同区域人流、物流组织与非净化区域人流、物流组织是否有交叉，有否缓冲措施。
7、工艺设备本身排风，会造成局部风景不平衡，改变气流，特别注意有轴流风机部位，轴流风机噪音消除也应重视。
8、工艺设备数量不确定的，空调系统宜预留足够余量。应考虑增加的工艺设备本身散热。
9、关注各种水电预留管线位置、容量与工艺设备的配套。
10、可建议设计人员与建设单位使用部门充分沟通，尽量避免建成后大的变更改动。
一、电子净化厂房内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求：
1、应满足使用功能的要求，且表面应平整，光滑，不起尘，避免眩光，便于清洁，并应减少凹凸面。
2、当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。
二、电子净化厂房地面设计应符合下列要求：
1、应满足电子产品生产工艺和设备安装要求。
2、应平整，耐磨，易清洁，不易积聚静电，避免眩光，不开裂，耐撞击等。
3、地面宜配筋，并应做防潮构造。
三、净化厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求，且表面应平整，光滑，位于地下的技术层或技术夹层采取防水或防潮，防霉措施。
四、当净化厂房设置外窗时，应采用双层固定窗，并应有良好的气密性，同时应采取防结露措施。
五、净化厂房门窗，墙壁，顶棚，地面，楼面的设计应符合下列要求：
1、应满足使用功能的要求，构造和施工缝隙应采取密闭措施。
2、顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道。
3、净化厂房不宜设窗台。
4、当地面采用活动地板时，活动地板材质和支撑方式应根据电子产品生产工艺要求选择。
六、用于电子产品生产的净化厂房的墙板和顶棚，宜采用轻质壁板构造
