一：超高真空系统常见分类
1.油扩散泵超高真空系统
该真空系统,扩散泵串联两个液氮冷阱,而且真空室和冷阱6能耐400～450℃的烘烤。在此温度下,可以清除真空室壁及冷阱壁上吸附的气体及凝结的泵油。该系统一般可以得到1.33×10-7Pa的极限真空度。
2.涡轮分子泵串联机械泵的真空系统此系统不烘烤可以获得10-6Pa的真空度,烘烤后的真空度可以达到10-8Pa。该系统的特点是比较清洁,可构成无油超高真空系统。
3.溅射离子泵无油超高真空系统
以溅射离子泵为主泵,使用两个分子筛泵做预抽泵,其中一个分子筛泵用来抽走真空室和溅射离子泵中的大气压下的气体,另一个用来抽走烘烤及离子泵启动时放出来的气体。
4.低温泵无油超高真空系统
用低温泵做为主泵,并联或串联分子筛吸附泵(做预抽真空泵)。该真空系统也可以用机械泵做为预真空泵,但必须在机械泵的入口管路上设置油蒸汽捕集器。
5.组合超高真空系统
对于某些有特殊要求的真空系统,如对于既要求得到超高真空或无油超高真空,又同时满足粗抽需要及能应付工艺过程中放出来的大量气体这样的系统,可采用组合式系统来满足要求。无油超高真空镀膜机真空系统原理图。主泵为溅射离子泵,为了提高真空度及排走蒸发材料时产生的大量气体,配有钛升华泵。极限真空度可达6.67×10-7Pa。用分子筛泵做主泵的预抽泵。此外,系统还配有吸附阱-机械泵粗抽系统,在压力大于1333Pa时,机械泵不易返油,用机械泵直接对真空室抽真空,当真空室的压力低于1333Pa以后,机械泵经吸附阱9从旁路抽真空室。
二：超高真空系统介绍
按照分子能量来分，真空空间可分为四种类型，近场真空、热真空、低温等离子体真空和高能粒子真空。粒子在每一种真空中飞行的平均能量分别为≤5 eV、≤O.3 eV、≤100 eV和≤40 TeV。在真空室中制得的核聚变等离子体，不属于低温等离子体(≥10 keV)。
按压力等级来分，真空类型分为低真空，中真空，高真空以及超高真空（UHV）。其中通常认为压力在 以下的真空被称为超高真空。这也就是说单位体积内的分子数，只有正常大气压的0。
三：超高真空系统应用
超高真空通常用于表面科学，这是因为空气中的分子会附着在暴露于空气中的固体表面，并改变了固体的表面特性。即使在 的高真空当中，3秒之内就会有一层分子附着在裸露的固体表面。然而在超高真空中，同样的过程将需要几个小时才能完成，从而能保证表面特性研究的正常开展[1-2] 。在如此超低的压力下，单个分子的平均自由程可达到40Km。也就是说真空腔内的几乎所有分子都会和腔壁发生碰撞。
按照分子能量来分，真空空间可分为四种类型：近场真空、热真空、低温等离子体真空和高能粒子真空。
粒子在每一种真空中飞行的平均能量分别为≤5 eV、≤O.3 eV、≤100 eV和≤40 TeV。在真空室中制得的核聚变等离子体，不属于低温等离子体(≥10 keV)。
表面科学家和表面分析仪器工程师们一直都在研究近场区域。在基体材料的处理方面，包括地球环境技术，人们主要研究的是热真空。
材料表面处理人员利用的是近场区域、热真空和低温常规等离子体真空(不包括离子注入)的知识。
超高真空、极高真空及其研发技术的历史和现状，在P.A.Radhead，J.P.Hobson和H.F.Dylla出版的特刊JVSTA V01.21，5号增刊文章中作了很好的论述。
表面处理系统中的超高真空技术以研发技术为基础，在工业应用上则多种多样，考虑到经济因素，实际应用中使用大量的特殊材料。
在工业上，超高真空技术是超清洁技术(UCL)的一个分支，任何材料和处理过程都应该保持清洁。超高真空处理的第一步是表面除气及测量。我们首先讨论的是超高真空系统的分子动力学基础。
