在线膜测量仪

 在线•全数检查/计测的提案。  实现在线计测的独特的光学系数。  采用LED光源，减轻维修负担。  根据设置条件可选择光纤头。  配置“膜厚计测”、“膜厚+光学常数（屈折率，吸收系数）同时计测”2种计测方法。  通过易懂的GUI，使操作更简单。  在线计测中必不可少的触发模式的充实。  与装置•工程、CIM想配合的接口。