使用热式气体质量流量计需要注意5个问题

  • 发布时间:2018-11-08 16:11:23,加入时间:2014年02月28日(距今4095天)
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  热式气体质量流量计首选赛德,由于该流量计的使用口径和流量均较小,较多应用于半导工业外延扩散,石油化工微型反映装置,镀膜工艺,光导纤维制造,热处理淬火炉等各种场所的氢,氧,氨,燃气等气体流量控制,以及固体制冷中固体氩蒸发等累积量和阀们制造中泄露量的测量等。
 
  专家指出在使用热式气体质量流量计时,必须要注意做好以下几个方面的工作:
 
  1、使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时,须在气路中加装过滤器等。
 
  2、使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题。
 
  3、控制器安装时zui好保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置安装,非水平位安装时若发现零点偏移,可调整零点后再工作。
 
  4、要特别注意工作介质的气压,应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。特别是在高压下工作时,气压差过大,流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,若工作压差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。
 
  5、标定和不同气体的换算。
 
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