微小气体流量计,小口径气体流量计,小流量气体流量计,微型气体流量计,广东微小气体质量流量计,,广州微型气体流量计 产品简介: 是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。 产品特点: - 传感器灵敏度高,有极小的始动流量 - 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传 - 感器的高精度计量 - 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高 - 传感器的零点稳定度高 - 全量程高稳定性 - 全量程高精确度和优良的重复性 - 低功耗 - 低压损 - 响应时间快 主要参数: 性能参数 FS4001 单位 通 径 1.0 1.8 mm 流量 30, 100, 200 500, 1000 SLPM 量程比 >100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重复性 0.25 %读数 零点输出飘移 ±30 mV 输出飘移 ±0.12 %/oC 响应时间 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses 工作电源 8~18Vdc,50mA 输出方式 线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc 流量压损 350 300 pa 工作压力 0.5 MPa 工作温度 -10 ~ +55 oC 存储温度 -20 ~ +65 oC 工作湿度 <95%RH(无结冰、无凝露) 机械接口 可拆式软管接头 校准方式 空气(或其他气体),20oC,101.325kPa 重量 15 g 联系人:陈先生 电话: QQ: 北京市(京) 天津市(津) 上海市(沪) 重庆市(渝) 河北省(冀) 河南省(豫) 云南省(云) 辽宁省(辽) 黑龙江省(黑) 湖南省(湘) 安徽省(皖) 山东省(鲁) 新疆维吾尔(新) 江苏省(苏) 浙江省(浙) 江西省(赣) 湖北省(鄂) 广西壮族(桂) 甘肃省(甘) 山西省(晋) 内蒙古(蒙) 陕西省(陕) 吉林省(吉) 福建省(闽) 贵州省(贵) 广东省(粤) 青海省(青) 西藏(藏) 四川省(川) 宁夏回族(宁) 海南省(琼)