x射线荧光镀层厚度测量仪 日本精工FT-110
[X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110]，使操作性进一步提高。
对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及品质，降低成本。精工从1971年首次推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。
为了适应日益提高的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。
近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。
1. 通过自动定位功能提高操作性
测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。
2. 微区膜厚测量精度提高
通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3. 多达5层的多镀层测量
使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4. 广域观察系统（选配）
可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5. 对应大型印刷线路板（选配）
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6. 低价位
与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。
参数与规格
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型号 |
FT110 |
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测量元素 |
原子序号Ti（22）～Bi（83） |
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X射线源 |
空冷式小型X射线管 |
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检测器 |
比例计数管 |
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准直器 |
○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
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样品观察 |
CCD摄像头 |
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对焦 |
激光对焦（自动） |
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滤波器 |
一次滤波器（自动切换） |
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样品区域 |
[固定]535×530 mm |
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测量软件 |
薄膜FP法（2层、10种元素）、检量线法 |
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安全功能 |
样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能 |
膜厚仪有哪些品牌？
进口品牌主要有： 德国菲希尔 日本精工 英国牛津
菲希尔在测量上是不错的。但在品质上已大不如前，硬件更换维护成本太高，最为让人纠结的是服务，报修一台仪器。要一堆什么编码确认，完了还得送到指定点去修。很是麻烦
日本精工 精工由于被日立收购后，品质进一步得到了提升，同时服务也比之前更加完善，最关键的是价格也降低了很多，现在深受业内人士的。
牛津 这个是个老牌子了。在线路板行业来说。大部份都是用 CMI 了。但CMI 由于 5 年前国产化后。这个牌子算是烂了。故障率奇高。
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