型号:SM-4
迷你型探针台
特点
紧凑的结构
轻巧的重量
实惠的价格
可以做光电方面测试应用
LED/LD/PD的光强/波长测试
可以进行射频测试，加装东/西方向针座
适合大学实验室通用
适合4"以下晶圆测试
Chuck通过x-y方向丝杠驱动
无后座力移动
规格
真空吸附型CHUCK
4英寸不锈钢材质
Chuck 行程
X-Y方向行程4" x4"
Chuck 移动精度
10微米
Chuck 可旋转角度
0~360 °
平台
可放置6 个针座
需求
电力
220 VAC, 60Hz
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
400mm长 x 400mm宽 x 400mm高(带显微镜)
重 30 Kg (带显微镜)
可选附件
Chuck快速拉出装置
积分球夹具
显微镜倾仰装置和快速移动装置
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
视频CCD系统
封装器件夹具
PCB板夹具
加热系统
防震台
屏蔽箱
镀金Chuck
