NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪，既有高精密度和准确度的局部（Local）SPM扫描，又具备大尺度和高测量速度；既可用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌，又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。 NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点 • 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。 •双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。 • 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 • 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。 • 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （０.１nm ） • 软件设置恒定微力接触。 • 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面。 应用 • 三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。 • 薄膜和厚膜的台阶高度测量。 • 划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量。 • 空间分析和表面纹理表征。 • 平面度和曲率测量。 • 二维薄膜应力测量。 • 微电子表面分析和MEMS表征。 • 表面质量和缺陷检测。
