实施污染控制室主动维修的重要内容之一。传统上，设备维修部门往往是根据设计部门的规定来控制清洁度的。但是设计部门的规定是以宏观统计信息为基础的，只有使用部门才了解设备在整个生产链中的重要性，设备的负荷，速度极其稳定性，设备是连续运转还是间断工作，设备所处的周边环境等。因此目标清洁度由使用维修部门制定或修订才是更合理的方法，才更符合“主动维修”的理念。美国NORIA公司在颗粒污染控制方面做了大量的理论分析和实验研究工作。根据他们的经验，颗粒污染的控制可按照下面的步骤进行。
1、设定清洁度目标 应该根据设备寿命及可靠性的要求考虑技术上的可行性和经济上的有效性来设定清洁度目标。
2、达到目标清洁度应采取的措施
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