,超细金刚石切割线的研制和生产不仅可用于IC制造领域中硅晶体的高效精密切片加工,也可用于其他贵重功能晶体(蓝宝石、砷化镓等)和硬脆材料(精细陶瓷、光学玻璃等)的切割加工。不仅可以切割薄片,也可加工曲面,还可以用于小孔的研修,具有十分广阔的应用前景。 本项目采用在树脂中加入金刚石和导电介质粉体,通过均匀混合后,涂敷在线锯载体(钢丝)表面,再二次(或多次)涂敷、烘干固化后,涂敷电解镍、烘干固化过程,完成超细金刚石切割线锯的制作。超细金刚石切割线截面如下图所示,其中钢丝作为基体磨料的载体,钢丝表面涂覆一层电解铜,防止表面氧化生锈;树脂层将金刚石磨料和导电介质包覆(金属粉),并固化在其中。 超细金刚石切割线的外观涂敷后的切割线粘接金刚石颗粒应均匀;表面无硬折,无锈迹,无污物。切割线不得有焊接口。电镀金刚石线相对于树脂金刚石线,单片综合成本高,综合效益更高:
1、切割效率高,电镀金刚石线完成8英寸硅片的切割需要1小时,而树脂线则需要2小时;因此同样的切割量,所使用的切割机台可明显减少,降低设备投资和人力成本;相应的,单台切割机台能够创造更高的价值;
2、单片耗线率低,切割同样的硅片所需要的电镀金刚石线约为树脂线的1/3;目前电镀线单片用线量1m/pcs,而树脂线单片用线量高达3.5~5m/pcs;
3、在母线直径相同的情况下,电镀金刚石线直径比树脂线小2-3微米,因此同样长度的硅棒,电镀金刚石线可多获得1-2%的硅片;
4、由于树脂线树脂层易脱落,不易实现细线化,最终树脂线的最小直径将至少比电镀线大10-20微米;
5、树脂线用量大,树脂层脱落多,产生更多的环境污染;所使用的线棍和包装量更大。
产品的优势:
1、产品质量稳定:各批次产品一致性好,同时保持了每卷金刚石线头尾及中间部位的质量的一致性;
2、产品质量优越:金刚石线颗粒分布均匀,无团聚,可保证在不同金刚石密度情况下,金刚石线直径均匀;镀层结合力强,无起皮及裂纹;断裂强度高且稳定;镀层致密光滑,外观银白,色彩美丽;
3、切割质量好:切割过程断线率低(小于2%)、TTV低(小于12微米),硅片成品率高,一次A级成品率约95%;切割效率高,可在1小时完成高质量的8寸单晶硅片的切割;单片耗线率低,可采用0.5米/片的工艺完成8寸单晶硅片的切割;
4、切割工艺适用性强,切割工艺窗口宽:各厂家使用多种机台可顺利完成切割,对切割工艺要切低;目前一般切割条件下,可使用多种规格的美畅产品完成高质量的切割,同时对美畅金刚石线质量波动的容忍性高;
5、可提供满足客户不同要求的多种金刚石线:包括金刚石线外观尺寸(直径、长度等)、定制用线量(0.5-1.5米/片)、切割时间(1-3小时)、调节线纹深度、设备和客户工艺的匹配等各种要求的多种规格产品;另外可依据客户要求提供相应的产品;
6、可针对不同客户不同机台提供量身定做的线锯产品。