耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Plasma特性
缺点：
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高
适用范围:
· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
氟橡胶（FKM，FPM）分子式
（一） 分子结构
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF
