等离子处理废气的原理，等离子体去除污染物的原理：
（1）等离子体降解污染物是在外加电场的作用下利用其本身包含的高能电子、离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间发生分解，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，以达到降解污染物的目的。
（2）等离子体技术处理污染物的原理为：等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强优势的高新技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。
等离子体去除污染物的基本过程
（1）过程一：高能电子的直接轰击
（2）过程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O
（3）过程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H H2O+O→2OH H+O2→OH+O
（4）过程四：分子碎片与OH自由基和O（活性氧）生成无机物H2O和CO2
