3M Fluorinert FC-40氟化液是无色透明全氟化学品，具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的低表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-57°C 至 155°C，主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-40是单一组分，所以其成分不好出现降解或者过期.FC-40沸点高，其随时间的挥发也比较少。 Physical Properties物理化学性质 Properties FC-40 Appearance外观 无色透明 Average Molecular Weight平均分子量 650 Boiling Point (1 atm)沸点 155℃ Pour Point倾点 ﹣57℃ Estimated Critical Temperature承受温度 543 K Estimated Critical Pressure承受压力 pa Vapor Pressure蒸汽压 432pa Latent Heat of Vaporization (at normal boiling point挥发潜热 68J/g Liquid Density液体密度 1850kg/m3 Kinematic Viscosity运动粘度 1.8 centipoise Absolute Viscosity绝对粘度 3.4 centipoise Liquid Speci-c Heat比热 1100 J/ kg°C Liquid Thermal Conductivity导热率 0.065 W/ m°C Coef-cient of Expansion膨胀系数 0.0012 /°C Refractive Index折光率 1.290 Water Solubility溶水能力 <7 ppm Solubility in Water水中溶解力 <5 ppm Ozone Depletion Potential臭氧破坏潜值 0 Dielectric Strength介电强度 46 kV, 0.1" gap Dielectric Constant介电常数 1.9 Electrical Resistivity绝缘强度 4.0 x 10(15)ohm cm
