伺服马达在低速时易出现低频振动现象。振动频率与负载情况和驱动器性能有关，一般认为振动频率为电机空载起跳频率的一半。这种伺服马达的工作原理所决定的低频振动现象对于机器的正常运转非常不利。当安川伺服马达工作在低速时，一般应采用阻尼技术来克服低频振动现象，比如在电机上加阻尼器，或驱动器上采用细分技术等。 松下伺服电机运转非常平稳，即使在低速时也不会出现振动现象。松下伺服系统具有共振抑制功能，可涵盖机械的刚性不足，并且系统内部具有频率解析机能(FFT)，可检测出机械的共振点，便于系统调整。
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