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无尘实验室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。无尘实验室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则： 1）作业员进入无尘实验室前，机台、零件携入前应进行清洁处理； 2）进入无尘实验室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘实验室。 4）机器及材料带进无尘实验室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
