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光氧催化设备使用前期进气要预处理到位，比如喷淋、过滤，等离子等，要保证进气无固定污染物（否则灯管表面附着物过多短波紫外线很难透过），然后让主要有机无机废气成份经过双波段紫外线灯的光解反应区，然后让气体再经过 254纳米波长单波段光催化辅助反应区，在这个反应区一是光催化分解，另外更重要的一点是254nm波长紫外线会大量分解掉反应完过量的O3臭氧（困为排放到大气中的O3也是一种污染原），使O3还原成氧气，O3还原成氧气的过程会有大量活气O原子，在光催化的作用上会进一步配合分解反应。同时，如果在末端再加上一至两层臭氧催化网分解掉残余的少量臭氧，这样排放出来的空气则洁净如新。
