产品简介
薄膜电容压力传感器的测量原理是通过检测电容变化从而得到真空度变化，能够精确测量出超低的真空，可以测量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（绝对）压力，以及0~-100kPa的负压。输出信号可选择0-5VDC或0-10VDC或4-20mA电流信号。接液部分采用抗腐蚀材料，可以测量腐蚀性气体。过程连接可选择快卸法兰，直管插入等几种方式。准确度高达0.25%FS，是实验室研究开发、工艺室、半导体过程工具及设备、各类真空包装真空蒸馏等设备。
产品特点
温度补偿范围宽
EMI抗电磁干扰
长期稳定性好
外型结构小巧紧凑
工作寿命长
产品应用
半导体处理室、半导体晶片的处理、装载腔等
石油化工
生物制药
吸收式制冷机
真空包装
冷冻干燥设备
真空蒸馏
技术参数
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被测介质 |
气体,蒸汽 |
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压力类型 |
绝对压力 |
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测量范围（绝压） |
0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa 0～0.1Torr, 0～1Torr, 0～10Torr, 0～100Torr, 0～1000Torr |
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供电电源 |
±15VDC，15~32VDC |
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压力输出信号 |
0-5VDC、0-10VDC、4-20mA（供电24VDC） |
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准确度 |
±0.25%FS |
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长期稳定性 |
0.25%FS/年（典型值） |
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零点温度漂移 |
0.02%FS/℃ |
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量程温度漂移 |
0.03%FS/℃ |
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介质温度 |
-20～110℃ |
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环境温度 |
0~50℃ |
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存储温度 |
-20～65℃ |
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响应时间 |
30毫秒（典型值） |
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绝缘电阻 |
≥500 MΩ/100V |
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安全过载压力 |
350kPa |
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连接方式 |
1/2''管，DN 16 ISO KF法兰，DN 16 CF-R法兰，8VCR或按要求定制 |
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相对湿度 |
0～100% RH |
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外壳防护等级 |
IP67 |
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电气输出引线 |
15针D-Sub插头，6芯插头 |
