等离子体是区别固态、液态、气态的第四种物质形态，气体受外电场激发放电，成为等离子体。这是一种由电子、各种离子、原子和自由基构成的混合体，其间电子、各种离子、重粒子相互碰撞，内部能量很高但整个体系呈现低温状态，低温等离子体由此得名。
低温等离子利用高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，污染物中的大分子团被击碎，长分子链被打断成为无害的短分子物质，达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，近于常温）。
低温等离子反应器由大功率电源（高频率、高电压）、放电电极、绝缘体（介质）构成，核心部件采用石英、不锈钢等耐腐蚀材料制造，待处理气体流经反应器被电离成为等离子体，在极短的时间里（0.01--0.1秒）完成物质的裂解过程，其处理能力之强，能效比之高是前所未有的。
低温等离子技术能够有效去除质
低温等离子技术适合处理低浓度有害气体。
根据不同的工况要选用等离子UV光氧一体机。
该设备是等离子和光氧净化器的组合体，等离子主要收集和降解含有油烟、尘的废气，而光氧净化器是利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。使其经一系列的化学和物理反应达到净化的效果。
