外部空气由管道经过环保装置进入降压段，降低风速后进入等离子段，和中性粒子组成。等离子分为平衡等离子和非平衡等离子，低温等离子体主要由气体放电产生气体经过等离子气体净化装置的反应器区域时，等子体中的活性自由基可以有效的破坏菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而导致其死亡。在高能电子和自由基强氧化等多重作用下，气体中的有机物分子链被断开，发生一系列复杂的氧化还原反应，生产C02，。臭氧比氧分子多了一个活跃的氧原子，化学性质特别活跃污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
