RTS-3型手持式四探针测试仪

  • 发布时间:2019-07-09 10:54:13,加入时间:2016年09月16日(距今3167天)
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测量范围宽、精度高、稳定性好、结构紧凑、易操作的手持式设计;
体积仅为:185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高); 重量:350g;
使用锂电池供电,一次充电可连续使用100小时;
 手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
    仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技 术 指 标 :
 测量范围  电阻率:0.01~1999.9Ω.cm;  
 方块电阻:0.1~19999Ω/□;
恒流源  电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调
数字电压表  量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;  
 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%;  
 显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标  间距:1±0.01mm;  针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)  1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度  ≤5%
外型尺寸  185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)
重量  350g
电源  锂电池,一次充电可连续使用100小时;
标准使用环境  温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射;

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