油扩散泵真空系统污染与防治 油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统，其获得真空度范围为13×10-3 ～13×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空 装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺 过程各种污染物的污染有关，防止的办法是： （1 ）定期清洗真空室； （2 ）定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。 真空泵的机械原理 GG－17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵适用于电子工业，如电子管。显像管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。 先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空。 水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器 W型往复式真空泵可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。 螺杆真空泵可能很多企业是既熟悉又陌生，熟悉是指对于这种设备早就已经在国内企业中受到了广泛的影响，而且对它的一些特点、优势、性能等各方面都有了一定的了解，对于应用后带给企业的帮助也都研究的比较透彻，做为各行业设备。但又是陌生的，因为它的使用率还不能覆盖国内的市场，其价格的原因一些设备还需要进口，国内的生产能力又制约了设备的发展，所以在应用方面的深入了解又是陌生的。 鉴于这两种情况的出现，很多生产型企业，近几年慢慢的将生产投资转向了螺杆真空泵，虽然这是一个很好的发展方向，干泵的使用最终也会被国内市场所认可，但对于目前的生产能力国内也是有极少数企业才能达到的，而且对于这类精密的设备，加工工艺之高才能真正体现出该设备的优势。 在不断前进的未来市场，螺杆真空泵的应用必定会成为国内市场的关注点，非常有利于企业的发展，而且还会带动整个真空泵市场进入另一个提升的空间，扩大其影响力。