Ø 应用领域
液晶面板(TFT-LCD) array的短路和开路修复 液晶面板(TFT-LCD) cell和module 的修复 液晶面板(TFT-LCD) CF 的修复 OLED的液晶面板(TFT-LCD) array的修复 OLED panel和module的亮点修复 掩模板(Mask)的短路和开路修复 集成电路的laser mark和修复
Ø 修复精度
2*2 micron(50X Object) @1064nm 1*1 micron(100X Object) @532nm 1*1 micron(100X Object) @355nm 1*1 micron(100X Object) @266nm