SplitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。 大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。 普发SPLITFlow 290 3p SplitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。 SPLITFlow 290 3p Pfeiffer Vacuum 的 SplitFlow 涡轮泵技术以一个真空系统替代多泵系统。