与传统研磨使用氧化铝磨料相比，具有以下优势
◎ 去除率高，实现更高的生产效率 ◎ 半个波长（百万分之十一英寸），完美的边-边平整度，某些案例可达1/20波长的平整度 ◎ 表面粗糙度好于次微米级（<0.5Ra），某些案例可达次纳米级 ◎ 可实现一步研磨和抛光方案，缩短加工时间 ◎ 减少浪费以支持绿色环保 对于研磨而言，最重要成功关键是一致性。许多成功的公司努力致力于控制磨盘表面接触率，负荷，磨盘速度，磨料填充过程，研磨浆喷晒。控制这些变量实现更加一致的零件粗糙度，去除率，平面度或要求的轮廓度，零件尺寸以及厚度，平坦化要求，最后达到客户的满意度。
