时间： 2018年9月12-14日
地点：广州琶洲保利世贸展览馆
承办单位：堡励会展策划（上海）有限公司
展品范围：
1、MEMS 加工设备:薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光
系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊
接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备等；
2、纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设备等；
3、纳米机械微制程技术：超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制
造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚
焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等；
4、分析与检测仪器：光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗
糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微
镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离
子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等；
5、软件建模：设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件等；
6、MEMS 代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他
代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等；
7、材料：压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、
保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass
substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料等；
8、生物技术与医疗应用：MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS
、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等；
9、MEMS 器件：光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (
开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器
，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微
感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发
电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合
型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)等；
10、MEMS 应用：产品 (麦克风,显示等)；超微型机械人装置、微型
工厂等；传感器网络；能量收集等；
参展细则
参展项目 规格及要求 合资企业 外资企业
国内企业 标准展位 3m ╳ 3m 15000元/个 角标展位 16500元/个
室内空地 36m2起订 1500元/m2
合资企业 标准展位 3m ╳ 3m 18000元/个 角标展位 2000元/个
室内空地 36m2起订 2000元/m2
外资企业 标准展位 3m ╳ 3m 4000美元/个角标展位 4500美元/个
室内空地 18m2起订 400美元/m2
堡励会展策划（上海）有限公司
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