，VOC废气处理设备大流量高效等离子体发生装置此种等离子体具有气体温度低（接近于室温）、等离子体密度高。适合大风量低浓度污染气体的处理。本等离子体发生装置采用栅状电极结构，选取合适的电极间隙和电极尺寸，可以在自匹配电源激励下获得大面积的空气等离子体。
有机废气一般都存在易燃易爆、有毒有害、不溶于水、溶于有机溶剂、处理难度大的特点。在有机废气处理时普遍采用的是有机废气活性炭吸附处理法、催化燃烧法、催化氧化法、酸碱中和法、等离子法等多种原理。但，等离子法存在高压放电容易爆炸的危险性，一般不使用。目前比较好的有机废气处理方法是废气处理塔采用五重有机废气吸附过滤净化系统，废气处理设计周密、层层净化过滤废气，效果较好。
工业废气处理技术中直接燃烧法也被称为热力氧化法或热力燃烧法，是利用石油气或柴油等辅助燃料燃烧放出的热量，使有机废气在700℃～800℃和停留时间为0.3～0.5s的条件下直接燃烧而转变为无害的H2O和CO2。但因采用该方法的起燃温度高，对设备材质要求也相对较高，造成一次性投资大，而且需要添加辅助燃料加热，能耗大、运行费用高，因此在实际应用中受到一定的限制。催化燃烧法是目前全球在有机废气处理技术研究领域中受关注的一个方法。
与直接燃烧法相比，催化燃烧法由于温度降低，允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料，因此可大大降低一次投资中设备费用，同时由于起燃温度降低，可节约预热能量，减少运行操作费用。。
