一、原理与用途:
本装置系采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂。在一定的温度下,吸气剂可与氩气中的微量杂质O2、N2、H2、H2O、CO、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体,从而达到对氩气精制之目的。
本装置净化器采用特殊结构,具有接触面积大、阻力小、净化效果高、热功耗损少等优点。
本装置可与区熔硅单晶炉配套使用,也可用于激光器、溅射、半导体生产、气相色墙仪、特殊灯泡、稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。
二、主要技术指标:
1、处理气量:≤1Nm3/hi。
2、净化效果:
气 体 |
纯 度 |
N2 P.P.m |
O2 P.P.m |
H2O 露点 |
CO2 P.P.m |
CH2 P.P.m |
粒 径 ≥0.5m微尘 |
原料氩 |
99.99% |
<100 |
<15 |
-50℃ |
<5 |
<5 |
≤3000颗/升 |
精制氩 |
>99.999% |
≤0.2 |
≤0.2 |
-70℃ |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤3.5颗/升 |
3、净化剂寿命:每炉可处理99.99%的氩气2500~3750立方米。
4、功率:1.2KW
电压:220V
频率:5HZ
5、外形尺寸:1450×450×600mm(高×宽×深)
6、重量:~120kg
三、工艺技术条件及流程
1、激活规范:800℃ 0.5~1小时(-760mmHg表压真空或
160升/小时氩气流下)
2、操作温度:700~740℃
3、操作压力:≤4Kgf/cm2欢迎新老用户选择我公司产品:氩气净化机,氩气净化器,高纯氩气净化,高纯氩气净化设备,高纯氩气纯化设备,高纯氩气纯化装置,YAC系列氩气净化设备,全自动氩气纯化设备,大型氩气净化设备,硅材料行业用氩气净化设备,硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气站专用氩气净化设备,气站专用氩气纯化器,气站用高纯氩设备,单晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,多晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,高纯氩气提纯设备,钨化氩气提纯机,多晶硅氩气过滤器,氩气纯化