少子寿命测量仪BCT-400

  • 发布时间:2022-06-01 17:26:57,加入时间:2012年07月03日(距今4356天)
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BCT-400测量系统不需要做表面钝化就能直接测量单晶和多晶硅(锭或块)的少子寿命.

因为少子寿命作为衡量生长和缺陷含量的的最敏感的技术参数,这个工具直接获得长硅的质量参数。

Sinton BCT-400

是基于涡流传感器和红外光致光电导方法直接测量单晶或者多晶硅棒体少子寿命的设备,具有瞬态和准稳态两种测量模式。该设备可探测3mm 深度范围少子寿命,并能输出不同载流子注入水平下的少子寿命值,可实现低电阻率硅单晶少子寿命测量,并能通过软件端光强偏置实现单晶缺陷密度计算。

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