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低温等离子又被称为第四态物质，等离子裂解净化技术是采用高密度电能电子束，以每秒数百万次的速度反复轰击通过等离子束通道的污染气体所包含的分子（主要为有机挥发物VOCs分子），以极短的时间激活。电离，裂解工业废气中所有组分的有害分子，再经过多级的净化，实现一系列转化反应，达到使污染气源中有的害物质变无害的氮、氧、二氧化碳和水。反应釜废气净化方案 丁醛废气收集设备 工业有机废气治理设备 反应釜废气治理设备厂家 联系人
低温等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。
物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非 弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
低温等离子技术可以非常有效地降解绝大部分气源中的有害物质使其无害化，只要保证污染气源中低湿（防止高压短路），低尘（防止电极积尘挡放电效率），以及污染气源中的易燃易爆物质（如二甲苯、甲酮等）含量在饱和点以下（≤2200mg：m³）。
低温等离子技术可以单独使用，单独使用时可以达到污染气体的综合处理效率在60％；如与其他处理技术协同使用，其效率可以达到98％左右。
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