低温等离子废气净化器利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射、裂解废气，如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子废气化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
从系统组成上来看，低温等离子废气净化器是由气体收集系统-预处理喷淋洗涤系统-低温等离子净化系统-深度气体吸附催化系统-排放系统-控制系统气体收集系统主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统。具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。低温等离子废气净化器是一种新型、高效的干法处理有机废气的净化设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，无产生二次污染，更换及维护保养方便，是近年来治理有机废气技术中比较先进的一项技术。
在低温等离子废气净化器产品运行原理上来看，低温等离子净化器内部装有独特的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子（尘埃粒子）被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所杀菌，并去除了异味，有害气体被除掉，达到废气处理的目的。
低温等离子废气净化器采用了ULAND低温等离子体-光催化技术，这是一项新兴的技术，它结合了低温等离子体技术和光催化技术的优点，在环境领域有着广阔的应用前景。近年来的研究初步表明，它在治理空气污染物的低温等离子+复合光催化工业废气净化器”机组在近些年来已在多家国家大型企业的生产线上，长期持续地正常工作，显示出其治理大流量工业复杂有机废气净化方面，比其它传统技术具有更安全有效的降解效果。
