工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，先经过过滤网去除大分子和颗粒，既对废气进行初级处理；其次净化设备运用特制高能光波及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，利用高能高臭氧光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用；
在光线的作用下，光触媒会产生强烈催化降解功能：能有效地降解空气中有毒有害气体，能有效杀灭多种细菌，并能将细菌或真菌释放出的毒素分解及无害化处理，同时它还具备除臭、抗污等功能。为此，此设备还可以加纳米级TiO2净化模块装置，再一次对废气进行催化氧化净化处理；
从微观上讲，运用172纳米波段切割、断链、裂解废气分子链，改变废气DNA结构；取值253.7纳米波段对废气分子进行氧化，使破坏后的分子或中子与O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物使之变为CO2、H2O等，其除臭高可达99%以上。
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