(一) 分子泵抽真空系统
1、 设备简介
高真空分子泵除气机组专用于低温瓶夹层内部精抽真空(适用于包扎材料),能在更短时间内满足客户高真空需求,设置双工位预留接口,可同时针对两支气瓶进行在线抽真空。
特点:体积小,重量轻,能耗小(功率低,无需循环水及冷阱,能耗降到更低)。而且设备自身配备气动源,操作简单,可随时开关机,携带方便,适用于任何场合。另外分子泵极限真空度比扩散泵高1个量级以上,无返油,对真空室和除气工件污染小。
高真空分子泵除气机组由全进口双级旋片泵、分子泵配套电控真空阀门、真空计、管路、小车机架、控制电器等组成。
本设备中进口双级旋片泵的油蒸汽极低,达到实验室要求,防止油气进入分子泵和真空管路;配备的真空计可以同时测量三路真空:主管路真空、预抽真空和前级真空;本设备具有自动互锁保护功能,当前级管路压力差时,分子泵不会启动或自动关闭保护分子泵;当管路或工件突然爆大气或压力异常升高时,抽空阀门会自动关闭,保护正在高速运转的分子泵;高真空分子泵除气机组配脚轮可方便移动及分步工作,具有断电保护真空和防返油功能。
2、 工作要求
(1)工作环境:气流畅通,清洁干燥;
(2)温度要求:温度10℃~40 ℃;
(3)湿度要求:≤80%。
3、 技术参数
(1)电力功率: AC220 V ±Hz,1.5 kW;
(2)极限真空: ≤1×10-4Pa;
(3)自身漏率:≤1×10-9Pa·m3/s;
(4)抽空接口:KF40;
(5)设备冷却:风冷
(6)设备尺寸:630×720×960mm