上海含铟废料回收厂家如今的i T O靶材有两种.一 种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用 直流反应溅射制造 I T O薄膜,但是靶表面会氧化而影 响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取#种方法生产 I T O 靶材,利用 L } I R F反应溅射镀膜。包装材料的成本得到降低它具有沉积速度快.且能精确控制膜厚,电导率高,薄膜的一致性好,与基板的附着力强等优点 l。但是靶材制作困难,这是因为氧化铟和 氧化锡不容易烧结在一起。
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