衡鹏供应
基于JIS R-3255标准，以MICRO SCRATCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材，或薄膜与界面之间的密着力（附着强度）的超薄膜附着强度测试仪。为成膜研究与测试所必备的测试设备。
CSR-5000超薄膜附着强度测试仪特点：
·CSR-5000采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICRO SCRATCH法，测试纳米级别的薄膜的附着强度。
·可测量膜厚μm以下的超薄膜的密着强度。
·加热环境下评价可能。
·镜片等曲面测量可能。
·可以进行以特定荷重来评价的特定负荷测试
·测试部位的设定以及测试后的划伤观察等简单易行
·测试不需要花费很多时间(1次测试约1～2分钟)
RHESCA超薄膜附着强度测试仪CSR-5000规格
荷重检出机构 荷重印加范围 1mN ～1500mN
荷重分解能 0.3mN
允许过负荷 300%FS
剥离检出（垂直方向） 检出信号 加速度信号
频率范围 20Hz ～10kHz
摩擦力检出（水平方向） 检出信号 速度信号
频率范围 20Hz ～10kHz
传感器励振机构 励振频率 45Hz
励振振幅 0·5·10·20·40·50·80·100μm
探针 触针形状 Φ1.6×6.5mm
尖端材质 / 尖端形状 金刚石R0-100μm
尖端材质 / 尖端形状 蓝宝石Rmu;m
Z 轴驱动机构
荷重印加方向 驱动方式 步进马达驱动
驱动范围 20mm
驱动分解能 0.5μm
驱动速度( 测试时) 0 ～20μm/s
驱动速度( 准备时) 1mm/s
试料台XY轴移动机构 驱动方式 千分尺手动调节
移动范围 ±6.5mm
Data输出方式 USB
尺寸及重量 W540×D520×H630 (37kg) 含显微镜
电源 AC100V ～240V
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