的特点：
1.自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求
2.具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能
3.采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力
4.配置操纵手柄，亦可软件程控
5. SPC数据处理分析，大批量治具测量
6. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳
7. 采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高
8. 程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量
9. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷
的技术规格参数：
|
型号 |
VMS-2515H |
VMS-3020H |
VMS-4030H |
||
|
工 作 台 |
金属台尺寸(mm) |
450×280 |
500×330 |
606×466 |
|
|
玻璃台尺寸(mm) |
306×196 |
350×250 |
450×350 |
||
|
运动行程(mm) |
250×150 |
300×200 |
400×300 |
||
|
X、Y、Z数显分辨力 |
0.5μm |
||||
|
示值误差 |
E1XY=（2.5+L/100）μm(L为被测长度，单位：mm) |
||||
|
外形尺寸（mm） |
760×600×900 |
760×600×900 |
970×670×940 |
||
|
仪器重量（kg） |
146 |
168 |
266 |
||
|
Z轴升降行程 |
150（可订购至300MM） |
||||
|
仪器配件 |
1X 镜筒（标配） |
0.5X 镜筒（选配） |
工作距离（mm） |
||
|
变倍镜头 |
0.7-4.5X |
0.7-4.5X |
|||
|
|
