潍坊洁净厂房的微振控制设施设计
潍坊洁净厂房的微振控制设施设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。
设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规定：
1、 总平面布置时，应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响。
2、 设有精密设备、仪器的的洁净厂房，其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计。
3、 对设有精密设备、仪器的洁净室有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施。
4、 洁净室内精密设备、仪器，经测试确认受到周围振动影响时，应采取被动隔振措施。
微振动控制设计：
洁净厂房的微振动控制设计，应按下列阶段进行微振动测试分析：
1、 有振动控制要求的洁净室，其建筑结构的微振动控制设计，应符合下列规定：建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上，且基础应有足够刚度；应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔；主体结构应根据微振动控制的要求，适应加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。
2、 有强烈振动的设备和管道，宜采取主动隔振措施，并应符合下列要求：宜采用隔振台，应选用刚度适当的隔振器；通往洁净室的管道，宜采用隔振支架、柔性连接等隔振措施。
