空气过滤器应根据空气洁净度等级选用，空气过滤器的处理风量应小于等于额定风量，中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段，高效过滤器宜设置在空调系统的末端；对化学污染物有控制要求的洁净室，在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置。
洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的形式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统。
，洁净厂房的洁净室送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室使用功能和将低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。
净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求：应有良好的气密性，漏风率不得大于1%；整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑、外表面不应结露；布置应整齐，并应便于运行和维修，当多套空气处理机组为同一洁净室服务室，宜选用相同规格的空气处理机组；送风机宜采取变频调速措施，送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择；应设置排水装置。
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