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CCD电动超高真空插板阀概述
CCD型电动超高真空插板阀是通过电动装置驱动阀杆带动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。
真空阀门
真空阀门具有下列特点:
压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。
对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。
按介质压力真空阀门可分成四组:
1)低真空阀门:介质压力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空阀门:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空阀门:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空阀门:p≤1×10-8 毫米汞柱。