制药、印染、制造、化工、化纤等行业在运作过程中会产生大量挥发性有机污染物，传统的工业废气净化设备很难将其处理，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
全球涌现出许多治理工业废气净化设备问题的各种技术，如超声波、光催化氧化、生物法、冷冻法、焚烧法等。其中低温等离子体作为一种高效、低能耗、处理量大、操作简单的环保新技术来处理有毒、有害及难降解物质，低温等离子设备是近年来一项重大科技成果，具有其它方法无法比拟的绝对优势。 低温等离子体技术处理污染物的原理为：低温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强优势的高新技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。
