低温等离子利用高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，污染物中的大分子团被击碎，长分子链被打断成为无害的短分子物质，达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，近于常温。)
低温等离子反应器由大功率电源(高频率、高电压)、放电电极、绝缘体(介质)构成，核心部件采用石英、不锈钢等耐腐蚀材料制造，
待处理气体流经反应器被电离成为等离子体，在极短的时间里秒)完成物质的裂解过程，其处理能力之强，能效比之高是前所未有的。
低温等离子技术能够有效去除硫化氢、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫物质。分解羟基化合物、硫化物、酚类、醇类、胺类、脂肪酸等有毒有害物质，应用广泛。
