伺服系统采用的是台湾台达伺服系统，线缆为国际出口线缆江苏捷迅高柔屏蔽线缆。
真空泵为5.5KW的通优真空泵，气动元件为台资生产的艾斯克，均能保证足够的可靠性。
电气部分采用的数控机柜，搭载台湾新代6MA控制系统，德国产海普蒙特变频器。
电器控制元件使用的是法国原装进口施耐德，可以保证长时间稳定工作不出问题。
原点限位使用机械限位，具有正负超程保护功能，稳定性远超光电限位。
台面部分为带储气室的双层PVC真空吸附，台面采用分区设计，最小实际吸附尺寸可小至5CM*5CM。
Z轴采用的是台湾进口的端部支撑结构，防止高速运行轴承时出现损坏的现象。
