韩国MKP流量计 VIC-D220质量流量控制器。MKP质量流量控制器(Mass Flow Controller)
VIC-D200通用型气体质量流量控制器,是TSC-D200系列的升级款,提高了响应速度(1sec);可选的PTFE密封材料让MFC适用于有腐蚀性气体环境,易燃性气体最优化的阀门结构。
产品参数:
VIC-D210 量程范围5-1500sccm
VIC-D220D 量程范围1.5-50slm
VIC-D240 量程范围50-200slm
流量测定范围满量程
精度:1%
响应时间:1sec
重复性:0.2%满量程
阀门类型:常闭
密封材料:Vtion,Kalrez,PTFE等(可选)
数字接口:RS485
信号类型:模拟0-5V或4-20mA,数字RS485
电源:+15-24VDC
温度范围:5-50
预热时间:15min