紫外线是由电磁波组成，紫外线本身所带有的能量与波长有直接关系，即波长越短，能量越大；波长越长，能量越小。UV光氧催化设备通过采用D波段的真空紫外线（波长范围170~184.9nm），照射VOCs有机废气。通过紫外线的照射，使VOCs有机废气发生裂解和分化，化学键断裂，形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）。
UV O2→O- O*(活性氧)
O* O2→O3(臭氧)
UV H2O→H OH-(羟基)
UV光氧废气处理设备净化效果
根据相关资料显示，在实验室条件下，采用UV光氧催化设备对单一的有机废气或恶臭气体严格控制进气浓度、气量及其他条件时，VOCs有机废气功率充足的情况下，测得UV光氧催化设备废气处理效率均可达到99%以上。但在实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光氧催化设备最适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光氧催化设备净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等这些不利因素，均会影响UV光氧催化设备废气处理效果。UV光氧催化设备在实际使用过程中净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。
