半自动晶圆贴膜机(预切割膜)AMW-08 AT

  • 发布时间:2019-03-26 17:00:02,加入时间:2018年04月24日(距今2564天)
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——支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜等。

特点:

·自动滚轴贴膜技术;

·手动放置和取出晶圆/承载环;

·自动胶膜进给和贴膜;

·支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜、特种膜类;

·自动圆形切刀用于非预切割膜的切割;

·自动收卷衬纸,适用于UV膜和非UV膜;

·晶圆台盘温度可编程控制,zui高可达120℃;

·标准8”晶圆台盘用于8”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;

·PLC控制,带5.7”触摸屏;

·配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;

·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;

AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机规格参数:

贴膜原理        自动滚轴贴膜技术;

晶圆直径        8”&12”;

晶圆厚度        50~750微米;

晶圆种类        正常的V型缺口晶圆;

膜种类          预切割膜、DAF膜、非预切割膜、或者UV膜;

              宽度:290毫米预切割膜/DAF膜;

              320毫米UV/非UV膜;

              长度:100米;

              厚度:0.05~0.2毫米;

晶圆承载环      8”DISCO 或者K&S标准;

贴膜定位精度    ±1mm;

装卸方式        手动晶圆/承载环放置与取出;

防静电控制      去离子风扇;

台盘温度        室温~ 120℃,可编程控制;

切割系统        环型切刀用于8”DISCO承载环;

控制单元        基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;

安全防护        配置光帘保护和紧急停机按钮;

电源电压        单相交流电220V,16A;

压缩空气        60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;

机器结构        全铝型材制造,坚固耐用;

机器外壳        白色喷塑金属外壳;

体积            800毫米(宽)*1450毫米(深)*1980毫米(高);

净重            350公斤;

AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机性能:

晶圆收益        ≥99.9%;

贴膜质量        没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能      ≥80片晶圆;

MTBF            >500小时;

MTTR            <1小时;

停机时间        <3%;

AMSEMI矽旺半导体名称及型号:

半自动晶圆贴膜机(减薄前)   ATW-08/ATW-12

半自动晶圆撕膜机(减薄后)   ADW-08 plus/ADW-08

半自动贴膜机 (基板切割)    AMS-12 

半自动晶圆贴膜机(预切割膜) AMW-08 AT  

半自动晶圆贴膜机(切割膜)   AMW-08/AMW-12

衡鹏能源供应

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