工业烘箱_高温100级无尘无氧烘箱HCM-100_矽旺
高温100级工业无尘无氧烘箱HCM-100特点：
·在常规环境下使用，能够确保烘箱内部净化等级达到100
·采用全周氩弧焊，耐高温硅胶迫紧，SUS310#不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘
·内胆采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，
·并经碱性苏打水清洁，去油污，避免烘烤时产生粉尘颗粒
·采用无氧设计，确保腔体内部在工作时可达到20PPM以下氧浓度环境
矽旺烘箱HCM-100（高温100级无尘无氧烘箱）规格：
无尘等级 Class 100
含氧量 <=20ppm
温度范围 +60～ +400℃
温度均匀度 ±2.5℃ at +200℃；±3.5℃ at +350℃；（空载）
升温速度 常温～+400℃，升温速率 > 6℃/min
温控精度 ±1℃ （空载）
层板 共2片；烘箱搁板为活动式，搁板承重≥30kg
工作尺寸 W966 mm×H715 mm×D588 mm x 1 chamber
外形尺寸 W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm
加热功率 18KW
环境条件 温度 5～40°C；湿度≤85%R.H
电源 AC380V, 三相， 50Hz
冷却水 Max 8L/min.
气压 86～106Kpa
使用条件 无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体
箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用
_矽旺更多产品：
衡鹏代理
矽旺AMSEMI 洁净充氮烤箱（半导体专用）ANN-600
矽旺AMSEMI 针对晶圆产品的无氧烤箱AO-2DS FC
矽旺AMSEMI 冷热冲击箱（两箱式）AST-100D
矽旺AMSEMI 工业烤箱CM-100T（100级无尘烘箱）
矽旺AMSEMI 高低温试验箱ACT-X50
