加工精度异常故障：系统参数发生变化或改动、机械故障、参数未优化振动刀切割机运行异常、振动刀切割机位置环异常或控制逻辑不妥，是生产中振动刀切割机加工精度异常故障的常见原因，找出相关故障点并进行处理，振动刀切割机均可恢复正常。生产中经常会遇到振动刀切割机加工精度异常的故障。此类故障隐蔽性强、诊断难度大。
导致此类故障的原因主要有5个方面：
1、振动刀切割机进给单位被改动或变化；
2、振动刀切割机各轴的零点偏置（NULLOFFSET）异常；
3、轴向的反向间隙（BACKLASH）异a常；
4、电机运行状态异常，即电气及控制部分故障；
5、振动刀切割机故障，如丝杆、轴承、轴联器等部件。
此外，加工程序的编制、刀具的选择及人为因素，也可能导致加工精度异常。
故障导致的加工精度异常，主要应对以下几方面逐一进行检查。
1、检查振动刀切割机精度异常时正运行的加工程序段，特别是刀具长度补偿、加工坐标系（G54～G59）的校对及计算。
2、在点动方式下，反复运动Z轴，经过视、触、听对其运动状态诊
